Umuman aýdanyňda, ýarymgeçiriji enjamlary işläp düzmekde, öndürmekde we ulanmakda az mukdarda şowsuzlygyň öňüni almak kyn.Önümiň hil talaplarynyň yzygiderli gowulaşmagy bilen, şowsuzlygyň derňewi has möhüm bolýar.Specificörite şowsuzlyk çiplerini seljermek arkaly, zynjyr dizaýnerlerine enjam dizaýnynyň kemçiliklerini, proses parametrleriniň gabat gelmezligini, periferiýa zynjyrynyň esassyz dizaýnyny ýa-da näsazlyk sebäpli ýüze çykan ýalňyşlygy tapmaga kömek edip biler.Ondarymgeçiriji enjamlaryň şowsuzlygynyň derňewiniň zerurlygy esasan aşakdaky taraplarda ýüze çykýar:
(1) Şowsuzlygyň derňewi, enjam çipiniň näsazlyk mehanizmini kesgitlemek üçin zerur serişdedir;
(2) Şowsuzlygyň derňewi, näsazlygy anyklamak üçin zerur esas we maglumat berýär;
(3) Şowsuzlyk derňewi, dizaýn inersenerleri üçin çip dizaýnyny yzygiderli gowulandyrmak ýa-da bejermek we dizaýn spesifikasiýasyna laýyklykda has amatly etmek üçin zerur seslenme maglumatlary berýär;
(4) Şowsuzlyk derňewi önümçilik synagy üçin zerur goşundy berip biler we barlamak synag prosesini optimizirlemek üçin zerur maglumat binýadyny berip biler.
Ondarymgeçiriji diodlaryň, eşidişleriň ýa-da integral zynjyrlaryň şowsuzlygynyň derňewi üçin ilki bilen elektrik parametrleri synagdan geçirilmelidir we optiki mikroskopda daşky görnüş barlagyndan soň gaplamany aýyrmaly.Çip funksiýasynyň bitewiligini saklamak bilen, indiki derňew ädimine taýýarlyk görmek üçin içerki we daşarky gurşunlar, baglanyşyk nokatlary we çipiň üstüni mümkin boldugyça saklamaly.
Bu derňewi geçirmek üçin elektron mikroskopiýa we energiýa spektrini ulanmak: mikroskopik morfologiýa gözegçilik etmek, şowsuzlyk nokadyny gözlemek, kemçilik nokadyny synlamak we ýerleşiş, enjamyň mikroskopik geometriýanyň ululygyny takyk ölçemek we ýerüsti potensial paýlanyşy we sanly derwezäniň logiki hökümi zynjyr (wolt kontrastly şekil usuly bilen);Bu derňewi geçirmek üçin energiýa spektrometrini ýa-da spektrometr ulanyň: mikroskopiki elementiň düzümi derňewi, material gurluşy ýa-da hapalaýjy derňew.
01. icarymgeçiriji enjamlaryň üstki kemçilikleri we ýanmagy
Faceerüsti kemçilikler we ýarymgeçiriji enjamlaryň ýanmagy, integral zynjyryň arassalanan gatlagynyň kemçiligi bolan 1-nji suratda görkezilişi ýaly umumy şowsuzlyk reesimidir.
2-nji suratda integral zynjyryň metallaşdyrylan gatlagynyň üstki kemçiligi görkezilýär.
3-nji suratda integral zynjyryň iki metal zolagynyň arasyndaky bölüniş kanaly görkezilýär.
4-nji suratda mikrotolkun enjamyndaky howa köprüsinde demir zolagyň çökmegi we skew deformasiýasy görkezilýär.
5-nji suratda mikrotolkun turbasynyň gözenegiň ýanmagy görkezilýär.
6-njy suratda integrirlenen elektrik metallaşdyrylan simiň mehaniki zeperleri görkezilýär.
7-nji suratda mesa diod çipiniň açylmagy we kemçiligi görkezilýär.
8-nji suratda integral zynjyryň girişinde gorag diodynyň döwülmegi görkezilýär.
9-njy suratda integral zynjyryň çipiniň üstüniň mehaniki täsir bilen zaýalanandygy görkezilýär.
10-njy suratda integral zynjyr çipiniň bölekleýin ýanmagy görkezilýär.
11-nji suratda diod çipiniň döwülendigi we agyr ýanandygy we bölüniş nokatlarynyň ereýän ýagdaýa öwrülendigi görkezilýär.
12-nji suratda galliý nitrit mikrotolkunly turba çipiniň ýakylandygy we ýakylýan nokadyň eredilen tüýkürme ýagdaýy görkezilýär.
02. Elektrostatik bölünişik
Manufacturingarymgeçiriji enjamlar, önümçilikden, gaplamakdan, daşamak, kebşirlemek, maşyn ýygnamak we beýleki amallar üçin zynjyr tagtasyna çenli statiki elektrik howpy astyndadyr.Bu amalda, ýygy-ýygydan hereket etmek we daşarky dünýä tarapyndan öndürilýän statiki elektrik toguna aňsat täsir etmek sebäpli transport zaýalanýar.Şonuň üçin ýitgileri azaltmak üçin geçiriş we daşamak wagtynda elektrostatiki goraga aýratyn üns berilmelidir.
Iparymgeçiriji enjamlarda bir polýar MOS turbasy we MOS integral zynjyry, statiki elektrik toguna, esasanam MOS turbasyna duýgur, sebäbi öz giriş garşylygy gaty ýokary we derwezeli elektrod kuwwaty gaty az, şonuň üçin bolmak gaty aňsat daşarky elektromagnit meýdany ýa-da elektrostatik induksiýa täsir edýär we zarýad berilýär we elektrostatik nesil sebäpli zarýady wagtynda çykarmak kyn, Şonuň üçin statiki elektrik toguň enjamyň dessine döwülmegine sebäp bolmak aňsat.Elektrostatik döwülmegiň görnüşi, esasan, elektrik ussatlygynyň döwülmegi, ýagny gözenegiň inçe oksid gatlagy döwülýär we gözenegiň çeşmesiniň ýa-da gözenegiň we drena between arasyndaky boşlugy gysgaldýan çukur emele getirýär.
MOS turbasy bilen deňeşdirilende MOS integral zynjyryň antistatiki bölüniş ukyby birneme gowudyr, sebäbi MOS integral zynjyryň giriş terminaly gorag diody bilen üpjün edilendir.Gorag diodlarynyň köpüsine uly elektrostatik naprýa .eniýe ýa-da artýan naprýa .eniýe bar bolsa, ýere geçip bolýar, ýöne naprýa .eniýe gaty ýokary bolsa ýa-da dessine güýçlendiriji tok gaty uly bolsa, käwagt gorag diodlary özlerinde bolar, suratda görkezilişi ýaly 8.
13-nji suratda görkezilen birnäçe suratlar, MOS integral zynjyryň elektrostatik bölüniş topografiýasy.Bölüniş nokady ownuk we çuň bolup, eredilen tüýkülik ýagdaýyny görkezýär.
14-nji suratda kompýuteriň gaty diskiniň magnit kellesiniň elektrostatik döwülmegi görkezilýär.
Iş wagty: Iýul-08-2023